潔凈是在一定空間內(nèi)消除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲和振動、照明和靜電控制在一定需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化院專門設(shè)計的房間，無論外界空氣條件如何變化，都具有保持原設(shè)定要求的潔凈度、溫度、濕度和壓力的功能。

控制產(chǎn)品(如硅片等)所處環(huán)境的清潔度、溫度和濕度。)聯(lián)系，使產(chǎn)品能在良好的環(huán)境下生產(chǎn)制造。這個空間的設(shè)計和建造過程可以稱為凈化工程。

湍流

空氣從空調(diào)箱通過潔凈室的風(fēng)管和空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，經(jīng)潔凈室兩側(cè)的隔墻或高架地板返回。氣流以非線性方式運動，并處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。該類型適用于1000-100000級潔凈室。

優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單，系統(tǒng)建設(shè)成本低，潔凈室易于擴展。在一些特殊用途的場所，可以配合潔凈室車間使用，提高潔凈室等級。

缺點：湍流產(chǎn)生的塵粒漂浮在室內(nèi)空間，不易排出，容易污染工藝產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)在關(guān)閉后重新啟動，通常需要很長時間才能達到所需的清潔度。

層流

層流氣流運動成平均直線，空氣通過100%覆蓋的過濾器進入室內(nèi)，由兩側(cè)高架地板或隔墻板返回。這種類型適用于潔凈室等級要求高的環(huán)境。一般潔凈室級別為1~100級。它可以分為兩種類型：

(1)水平層流：水平空氣從過濾器向一個方向吹出，由對面墻上的回風(fēng)系統(tǒng)送回?；覊m隨風(fēng)排放到外面。一般來說，下游污染嚴重。

優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單，可在術(shù)后短時間內(nèi)變得不整潔。

缺點：建設(shè)成本比紊流高，室內(nèi)空間不易擴展。

(2)垂直層流：房間天花板全覆蓋ULPA過濾籠，空氣自上而下吹，可獲得更高的潔凈度，將過程中或工作人員產(chǎn)生的粉塵快速排出室外，不影響其他工作區(qū)域。

優(yōu)點：易于管理，術(shù)后短時間內(nèi)可達到無紊亂狀態(tài)，不易受作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員影響。

缺點：結(jié)構(gòu)造價高，空間靈活利用困難，吊頂?shù)牡跫馨幢壤加每臻g，維修更換濾網(wǎng)麻煩。

復(fù)合類型：

復(fù)合型是湍流和層流的結(jié)合或組合，可以提供局部超凈空氣。

(1)潔凈隧道：工藝區(qū)或工作區(qū)100%籠蓋HEPA或ULPA過濾器，可將潔凈度提高到10級以上，節(jié)省安裝和運行費用。在這種類型中，作業(yè)人員的工作區(qū)域應(yīng)與產(chǎn)品和機器維修隔離，以避免在機器維修期間影響工作和質(zhì)量。這種類型多用于ULSI工藝。

干凈的隧道還有另外兩個優(yōu)點：a .靈活擴展容易；b .設(shè)備維修可以在維修區(qū)隨便進行。

(2)潔凈管：產(chǎn)品流經(jīng)過的自動化生產(chǎn)線被旁通凈化，潔凈度等級提升到100以上。由于產(chǎn)品與作業(yè)人員和多塵環(huán)境隔離，少量送風(fēng)即可達到良好的潔凈度，節(jié)約能源，不需要人工操作的自動化生產(chǎn)線最適合使用。醫(yī)藥，食品工業(yè)，半導(dǎo)體工業(yè)都是一起用的。

(3)局部清潔點并聯(lián)安裝：潔凈室級別為10000 ~ 100000的湍流潔凈室中產(chǎn)品工藝區(qū)潔凈度級別提高到10 ~ 1000或以上，考慮用于生產(chǎn)；潔凈工作臺、潔凈工棚、潔凈空氣柜都屬于這一類。